等离子体是包含自由电子和自由带电离子的一种物质状态，被称为物质的第四态（固液气为三种基本状态）。低温等离子体是指带电粒子能量在几个eV量级的等离子体，这种情况下发生的反应主要是自由电子与价电子参与，不涉及核反应与X射线。

低温等离子体广泛应用于刻蚀芯片、表面处理等工业生产，并在空间助推器等高科技领域发挥重要作用。

本实验室主要针对容性耦合等离子体(CCP)和感性耦合等离子体(ICP)进行诊断分析，包括光谱诊断、探针测量、表面分析、离子能量分析等手段，对电子温度、电子密度、激发态粒子数密度等一系列等离子体参数和其他参量进行测量分析。

离子质量能量测量系统